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行业资讯

电子工业超纯水设备

发布时间:2020/07/27

工业制造中,很多电子元件生产过程中需要大量超纯水,且对水质要求特别严苛。随着工业技术的发展,电子元件的尺寸的缩小和精细程度的提高,对超纯水的水质水量的要求日趋严格。ITRS(国际半导体技术蓝图)中规定的侵入式光刻技术中需要的浸没式超纯水,水质要求超过了国标中规定的电子水最高要求。

 

超纯水的电阻率、微粒子、气泡(溶解氧,溶解氮)和 TOC是非常重要的指标,略微差异可能导致元件生产过程的产品质量和合格率的下降,所以超纯水的制备技术在工业的发展中是非常重要的。


玻璃厂半吨超纯水设备

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